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             段文睿     講師     碩導



             儀器科學(xué)與技術學(xué)科

基本信息

性别:男    ||  出生年月:1983年8月    ||  政治面(miàn)貌:黨員

現任職稱:講師

最後(hòu)學(xué)曆: 研究生    ||  最後(hòu)學(xué)位: 博士     ||  獲學(xué)位單位:清華大學(xué)

聯系方式:     ||  郵箱:duanwr@tsinghua.edu.cn    ||  通訊地址:北京海澱區清河小營東路12号

導師信息 

碩導/博導:碩導     ||  批碩/博導時(shí)間:2017年10月

在讀碩士:0    ||  畢業碩士: 0    ||  在讀博士:0    ||  畢業博士:0

所屬院系、學(xué)科及研究方向(xiàng)

所屬學(xué)院:儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院

所屬學(xué)科:儀器科學(xué)與技術

研究方向(xiàng)1:IoT無線傳輸技術

研究方向(xiàng)2:多傳感器融合信息處理技術

研究方向(xiàng)3:低功耗器件設計

參加學(xué)術團體

中國(guó)圖學(xué)學(xué)會(huì)數字化設計與制造專業委員會(huì)

工作簡曆

2001.09-2005.07 北京航空航天大學(xué)機械學(xué)院機械設計系(機械設計專業),工學(xué)學(xué)士

2005.09-2008.03 北京航空航天大學(xué)機械學(xué)院航空宇航制造工程系(CAD專業),工學(xué)碩士

2010.09-2015.07 清華大學(xué)機械學(xué)院機械系(機械工程專業),工學(xué)博士•

2015.09 2017.09 清華大學(xué)精儀系系,博士後(hòu)

2017.10 – 至今 北京信息科技大學(xué)測控系,講師

承擔教學(xué)任務

本科課程:精密機械設計課程

承擔科研項目情況

橫向(xiàng)課題《手術機器人的傳感技術研究》200萬元、清華未來芯片高精尖中心項目《微流控芯片的細胞三維聚焦技術研究》30元、橫向(xiàng)課題《*****無線傳輸系統設計》24萬元。

主要論文目錄

1. Analysis of Multi-Discipline Optimization of Etch Process Chamber Based on MADM. Journal of Mechanical Science and Technology, 2014(11). (SCI)

2. 基于多目标決策方法的反應離子刻蝕機約束環優化設計研究 [J]. 真空科學(xué)與技術學(xué)報, 035(1):89-99. [J]. 真空科學(xué)與技術學(xué)報

3. 刻蝕機裝備設計中的序貫試驗設計方法研究[J]. 真空科學(xué)與技術學(xué)報, 2015(05):117-125.

4. An annotation and retrieval system of CAD models based on functional semantics. Chinese Journal of Mechanical Engineering (English Edition).

5. 基于二次優化策略的約束環内稀薄氣體粘度修正[J]. 真空科學(xué)與技術學(xué)報, 2015, 035(001):38-43.

晶圓邊緣離子平均入射角度數值模拟研究[J]. 真空科學(xué)與技術學(xué)報, 035(002):231-237.

科研成(chéng)果

根據IC制造裝備設計領域的重大技術需求,以含工藝腔室的刻蝕機爲研究載體,開(kāi)展複雜機械系統及其關鍵零部件的多場耦合建模與仿真優化設計的理論與應用技術研究。作爲主要完成(chéng)人或技術骨幹,參與863、科技部02專項、重大儀器專項3項。發(fā)表論文12篇,申請發(fā)明專利3項。